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| 常見問題 |
首頁 > 新聞資訊 > 常見問題 > 關(guān)于滾珠絲杠在半導(dǎo)體制造中的具體應(yīng)用 |
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| 關(guān)于滾珠絲杠在半導(dǎo)體制造中的具體應(yīng)用 |
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| 來源：聚優(yōu)創(chuàng)新自動化 點(diǎn)擊：187 時間：2025-2-7 |
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晶圓傳輸：
- 在半導(dǎo)體制造過程中，晶圓需要在不同的工藝步驟之間進(jìn)行傳輸。滾珠絲杠用于驅(qū)動晶圓傳輸系統(tǒng)，確保晶圓在傳輸過程中的精確位置和速度控制。
- 滾珠絲杠的高精度和低摩擦特性使得晶圓傳輸更加平穩(wěn)和準(zhǔn)確，減少了晶圓在傳輸過程中的損傷和誤差。
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晶圓對準(zhǔn)：
- 在半導(dǎo)體制造中，晶圓需要對準(zhǔn)到特定的位置以進(jìn)行后續(xù)的工藝步驟。滾珠絲杠用于驅(qū)動對準(zhǔn)系統(tǒng)，確保晶圓能夠精確地對準(zhǔn)到預(yù)定位置。
- 滾珠絲杠的高剛性和穩(wěn)定性使得對準(zhǔn)過程更加可靠和準(zhǔn)確，提高了半導(dǎo)體制造的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
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加工設(shè)備精確運(yùn)動：
- 在半導(dǎo)體制造設(shè)備中，滾珠絲杠還用于驅(qū)動各種加工設(shè)備的精確運(yùn)動，如刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)等。
- 這些設(shè)備需要高精度的運(yùn)動控制以實(shí)現(xiàn)精確的工藝步驟。滾珠絲杠以其高精度和低摩擦特性，滿足了這些設(shè)備對運(yùn)動控制的要求。
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